MEMS是英文Micro Electro Mechanical Systems的缩写，即微电子机械系统。 微机电系统（MEMS）技术是基于微纳技术的21世纪尖端技术。 是指微纳米材料的设计、加工、制造、测量和控制技术。 它可以将机械部件、光学系统、驱动部件、电子控制系统集成为一个整体的单元微系统。 这种微机电系统不仅可以采集、处理和发送信息或指令，还可以根据获得的信息自主地或按照外部指令行动。 它采用微电子技术和微机械加工技术（包括硅体微机械加工、硅表面微机械加工、LIGA和晶圆键合技术）相结合的制造工艺，制造出性能优异、价格低廉、小型化的各种传感器。 执行器、驱动器和微系统。 微机电系统（MEMS）是近年来发展起来的一门新兴的多学科技术。 这项技术将对未来人类的生活产生革命性的影响。 它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多个学科。

  MEMS压力传感器是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型机电系统。 可用于制造技术和电路设计，实现低成本、高精度的批量生产。 事实上，传统的压力传感器是在金属弹性体受到外力作用时产生机械弹性变形，然后转换成电能后输出。 因此，MEMS压力传感器具有很多优点，而且尺寸非常小。 体积小而且非常划算。 主要分为硅电容式和硅压阻式两种。

  根据相关MEMS技术，电容式传感器被制造成栅栏的形状，上下两根栅栏可以组成一组传感器。 当上横格栅受到压力时，它会向下移动，然后上下横格栅之间的距离就会发生变化。 换句话说，极板之间的电容将会改变。 发生变化。 硅压阻式压力传感器采用高精度半导体电阻应变片组成惠更斯电桥，使其可以作为力电转换来测量相关电路。 具有更低的成本、更低的功耗和更高的测量精度。 这种传感器，如果压力不发生变化，那么它的输出为零，因此几乎不消耗功率。

  MEMS硅压阻压力传感器采用固定的、圆形应力杯硅膜的内壁。 同时，利用MEMS相关技术，可以直接雕刻四个高精度半导体应变片。 控制到其表面应力最大的地方，就可以形成惠更斯电桥，因此可以作为力电转换来测量电路。 这是直接将压力转换成电能并进行测量。

  MEMS压力传感器广泛应用于工业电子：工业配料称重、数字流量计、数字压力表等消费电子：太阳能热水器、洗碗机、饮水机、洗衣机、空调压力传感器的液位控制压力传感器、 微波炉、健康秤、血压计等。 汽车电子：柴油机共轨压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器、汽车制动系统气压传感器、发动机机油压力传感器等。

  当今许多集成电路中使用的许多四英寸圆形晶圆都是由 MENS 生产的。 但我们必须为MEMS工艺添加三种独特的设备：键合机、双面光刻机和湿法蚀刻台。 对于压力传感器制造商来说，必须增加标准的压力检测设备，这是非常昂贵的。 对于MEMS厂商来说，需要在消费电子、汽车电子领域开拓渠道和销售经验。 尤其是汽车电子，MEMS压力传感器变得越来越重要。 近年来，其需求量快速增长。 例如：杰神电子每年对其的需求量已达到200至300万台。 随着技术的进步，市场对MEMS压力传感器的需求将会越来越大，其发展前景极为广阔。