中国电子科技集团第四十五研究所(CETC)是我国从事电子专用设备技术、整机系统和应用技术研究、开发和制造的专业化科研生产单位。主要研究方向为机器视觉技术、运动控制技术、精密零件制造与优化技术、材料传动系统技术、精密运动工作台系统技术、特种技术研究与物化技术和整机系统集成技术,主要研发对象为半导体与集成电路专用设备、新型电子元器件及其他机电一体化。现已形成以IC关键工艺设备“光刻机”为龙头,晶圆加工设备、芯片封装设备、电子元器件设备门类齐全的系列配套产品。45所研发的半导体材料加工、光刻、电镀、腐蚀清洗、检测系统、划片、键合设备在国内处于技术领先地位,具备规模化生产能力。
45开发的产品涉及4个领域10大类,100多个品种。30年来,45所取得500多项科研成果,其中200多项获国家、省(部)级以上奖励;并申请了50多项技术专利;国家列入替代进口产品目录的特种设备有59种,有20多项被列为国家新增产品。45个研究所研制生产的6000多台套专用设备,在我国集成电路制造业和其他行业近300家企业的生产线、科研院所和高校发挥着重要作用。
这45种产品服务的主要市场领域包括微电子、半导体照明(LED)、太阳能光伏、分立半导体器件和元件、特殊材料和其他电子元件。其中微电子和分立器件的客户多分布在珠三角和长三角,主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、引线键合机等产品;半导体照明设备产品客户(封装+芯片)主要分布在珠三角地区,主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、固晶机、引线键合机等产品;光伏(包括太阳能硅片和电池)设备产品的客户主要分布在长三角地区,涉及多线切割机、印刷机、清洗和制绒系统、干燥机、划片机等产品。其他元器件、特殊材料等电子元器件及设备产品分布在全国各地,涉及的产品有切片机、清洗机、烘干机、划片机等。
在市场开发方面,他们注重国内大用户和龙头企业的发展,在半导体后封装专用设备、LED(发光二极管)生产专用设备、太阳能生产专用设备等方面取得了长足的进步。开发的一些产品已经可以和国外大公司竞争,尤其是LED设备受到很多厂商的青睐。
目前,他们拥有专业的DB-8002LED自动粘片机售后团队,能够完成售前技术支持、售后技术服务和维护,有效保障用户现场设备的正常运行。国内LED制造业竞争日趋激烈,产品利润很低。大多以手工制作为主,产品质量难以保证。但是自动化设备本来就是进口的,不仅价格昂贵,而且售后服务也无法保证。目前国内该类设备年需求量超过500台,45所研发的设备正好满足了这部分用户的需求。其性能和质量与国外设备相当,价格和售后成为他们的优势。同时,为了追求更高的利润,很多厂商不得不生产一些个性化的LED应用产品,这对设备提出了个性化的要求。45所可以快速深入用户,了解用户的流程情况,提出解决方案。
未来,按照既定的发展思路,他们除了继续做好产品技术含量、可靠性、制造成本等方面的工作外,还将重点发展国内龙头企业。,从而带动整个行业的市场发展,谋求更大的市场份额。
作为我国半导体制造设备研发生产的国家队,45所始终走在与国外设备竞争的前沿,坚持为太阳能电池企业提供工艺实用性强、性价比高的设备,以降低太阳能电池企业投资运营成本、提升太阳能电池企业市场竞争力为目标,致力于加快提升国产设备全线供应设备和工艺技术的能力。看到太阳能电池和半导体照明产业的快速发展,45个研究所根据其工艺和使用特点对相关产品进行了适应性改进和升级,取得了良好的市场反响。丝网印刷、硅片制绒、清洗、大容量清洗和干燥等设备。已经批量进入国内各大太阳能电池厂商。
45所自主研发的太阳能光伏设备拥有自主知识产权,并申请了多项专利。关键零部件国产化率达到80%。“阳光采购工程”为国内外优秀的原材料、零部件供应商搭建了技术交流平台,在北京及周边地区形成了产供互补的良好产业链,促进了这些地区企业的经济效益,促进了当地经济的发展。
在产品发展战略上,他们重点发展多线切割机和自动印刷设备,这是制造晶体硅太阳能电池最关键的设备。目前,这两种设备的国产化已经取得重大进展。
在太阳能硅片制备方面,拥有15项专利的45台自主研发多线切割机,成功切割出厚度为180 μ m的标准156mm×156mm方形硅片。
在太阳能电池制造方面,自动丝网印刷系统开发取得重大突破,备受关注。设备的关键单元技术,如视觉对准、自动传输和翻膜系统、在线芯片检测系统、自动柔性印刷、效率检测和分拣系统等。,已经实用化开发,设备将于2010年量产。
自20世纪60年代以来,已有40个研究所开始了国内外切片机的研究,积累了丰富的技术经验。面对太阳能原材料价格的上涨和多线切割机市场需求的增加,适时研制了DXQ-601多线切割机。技术指标、工艺性能等参数接近或超过国外同类设备水平,填补了国内该类产品的空白。与传统的内圆切片技术相比,WEDM具有曲率和翘曲小、平行度好、总厚度偏差分散性小、切削刃损耗小、表面损伤层浅、晶圆表面粗糙度小、切割效率高的明显优势。
制绒是制造太阳能电池的关键工艺,对提高电池的转换效率起着重要作用。目前,沟槽制绒设备主要用于单晶硅太阳能电池的制造过程中。SFQ-1508ZT全流程自动羊绒清洗机、SFQ-1504ZT自动脱磷及硅玻璃清洗机、SFQ-1506ZT自动预清洗机等。,45开发的,都是自动化的。用户人工投料后,三套机械传动装置完成腐蚀、清洗等工艺流程,减少人工干预,具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。
在太阳能电池生产过程中,干燥是控制成品率和降低芯片率的关键步骤。在现代电池生产过程中,主要采用烘干加热结合甩干,关键技术是烘干效果、出片率和运行成本。45所开发的LXS-800立式旋转洗烘一体机在各大太阳能电池生产线(南京中电、江苏杰尼、宝鼎天威等)都得到了用户的认可。).