2026年10月29日，爱德华真空（Edwards Vacuum）在美国纽约州杰纳西县正式启用新的干式真空泵制造工厂。这座投资3.19亿美元的工业设施位于Western New York Science & Technology Advanced Manufacturing Park（STAMP工业园区），承担半导体制造用真空设备的生产任务。与此前的工厂建设公告不同，此次公布的工程节点意味着厂房建设已经完成，主要生产设备安装及调试工作也已进入实际运营阶段。
新工厂所在位置为杰纳西县阿拉巴马镇，建筑面积约24万平方英尺，折合约2.23万平方米。厂区设置制造、仓储及行政办公区域，首期规划具备每年生产1万台干式真空泵的能力。企业此前还为后续扩大生产规模预留了发展空间，远期年产能力可达到2万台。首期规划产能与远期扩建能力并不相同，新厂正式启用也不代表当前实际年产量已经达到上述水平。
爱德华真空隶属于阿特拉斯·科普柯集团，长期从事工业真空技术及半导体制造配套设备开发。此次新建的不是半导体芯片生产工厂，而是为晶圆制造设备提供关键真空部件的机械制造设施。干式真空泵能够在不使用泵腔工作油液的条件下抽除工艺气体，适用于对真空环境、气体处理及设备运行可靠性有要求的半导体生产过程。
在半导体制造过程中，真空系统广泛用于薄膜沉积、刻蚀及其他需要控制工艺腔室压力的生产环节。干式真空泵不仅承担抽气任务，还需要与制造设备的运行过程相配合。不同工序涉及的工艺气体、压力条件和工作负荷存在差异，相应真空设备在结构、运行控制及气体处理能力方面也有不同要求。爱德华真空此次增加的制造能力，主要面向这些半导体生产装备所需的真空泵产品。
新厂建设经历了从制造基地选址、工程施工到设备安装及系统调试的多个阶段。项目于2022年公布投资计划，2024年4月正式进入建设阶段。按照爱德华真空公布的厂区进度，工厂在2026年1月取得临时使用许可，工作人员于2月开始进入厂区。此后，企业逐步完成生产设备安装、公用工程连接和系统验证，最终完成设备调试，为工厂投入实际制造创造条件。
与只提供零部件仓储或者售后维修服务的设施不同，杰纳西工厂承担干式真空泵整机制造任务。爱德华真空公开的制造岗位资料涉及电子部件装配、泵模块装配、系统总成、性能测试以及最终装配等工作。这些生产环节反映出干式真空泵制造具有机械部件与电气控制系统相结合的特点，需要在工厂内完成不同模块之间的配合和整机质量确认。
泵模块是干式真空泵的主要机械组成部分，其制造涉及旋转机械结构和相应配合部件。完成机械装配之后，还需要将驱动、控制及其他功能组件整合到设备中。对于半导体制造用途的真空泵，整机测试也是制造工作的重要组成部分。设备不仅需要满足机械运行要求，还必须按照产品设计和检验要求确认其真空性能及运行状态。
杰纳西工厂将制造与测试纳入同一生产设施，有利于组织从部件装配到整机检查的连续制造任务。爱德华真空在项目介绍中明确提到，新厂配备制造和精密测量设备，同时设置与生产相配合的工厂设施。相关设备已经完成主要安装工作，但企业没有公开完整的机床型号、装配工位数量及自动化生产线配置，因而不能将其他真空泵工厂使用的具体设备直接归入该项目。
工厂制造任务还涉及原材料及零部件供应、车间物料流转和成品出货。企业公布的生产设施包括独立仓储区域，能够为不同制造环节提供相应的物料管理空间。干式真空泵由多种机械和电气部件构成，不同组件需要按照产品配置进入相应装配工序。将仓储、生产及测试业务集中于同一基地，是这座工厂在生产组织方面的重要安排。
此次工程还有一项明确的基础设施特点：新工厂采用全电力运行方案。根据爱德华真空和纽约州公布的资料，设施计划主要使用水力发电供应的电力，并按照绿色建筑相关要求进行设计。工厂以取得LEED认证为目标，但不能据此认定新设施已经获得该认证。企业此前估算，在达到每年1万台真空泵生产规模的条件下，缩短产品运输距离有望减少约1.3万吨年度二氧化碳当量排放。这属于特定生产及运输条件下的企业预测，并非工厂投运后已实测的减排成果。
在人员安排方面，新厂将随着生产业务扩大逐步增加员工。项目公布的长期目标为创造最多600个工作岗位，涉及制造、工程、设备测试及其他生产支持工作。人员规模与工厂实际产量需要按照制造业务的推进情况逐步形成，不能将长期招聘目标理解为开幕当天已经达到的在岗人数。
杰纳西县工厂的建设也改变了爱德华真空在美国的制造布局。企业此前已经在美国提供真空设备相关技术及服务，而这座新厂将半导体干式真空泵的制造能力进一步布置在北美市场。对于美国半导体设备制造商和晶圆制造企业而言，新的生产基地为关键真空设备提供了另一处制造来源。企业将缩短部分产品的供应距离、加强本地制造支持作为此次投资的重要目标。
从工程实际状态来看，杰纳西工厂已经完成主体建设、主要生产设备安装和调试，并于10月29日正式启用。首期每年1万台的规划产能，为企业扩大干式真空泵制造业务提供了基础。随着工厂进入运营阶段，爱德华真空在美国的生产体系由此增加了一座面向半导体设备市场的干式真空泵制造基地。